光刻设备≠光刻机（1 / 2）

一、1931年：鲁斯卡使用冷阴极放电电子源和三个电子透镜改装高压示波器，首次实现电子显微成像。

1932年：鲁斯卡进一步改进设计，将分辨率提升至50纳米，标志着电子显微镜进入实用阶段。

二、世界上第一台五坐标联动数控机床诞生于1959年，由美国辛辛那提公司（Cincinnati Milacron）生产。

三、1881年：德国科学家马克斯?舒勒（Max Schuler）发明了第一台光刻机，用于印刷术。

1952年：美国科学家理查德?霍夫（Richard Hove）和弗雷德里克?特勒（Frederick Teller）发明了第一台电子束光刻机，用于半导体制造。

1958年：美国德克萨斯仪器公司（Texas Instruments）试制成功世界上第一块平面集成电路，标志着光刻技术开始应用于半导体领域。